X
X

江苏时时彩预测:HMDS涂胶系统报价 热销HMDS涂胶工艺 HMDS涂布机采购 真萍科技

点击图片查看原图
品 牌: 真萍烤箱,真萍烘箱 
单 价: 100000.00元/台 
起 订: 1 台 
供货总量: 1 台
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 安徽 合肥市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2018-07-17 13:13
浏览次数: 4
询价
公司基本资料信息
联系我时,请说明是在仪器仪表世界网看到的消息,谢谢!
 
 
产品详细说明

江苏时时彩app下载 www.5h3od.com.cn HMDS涂胶系统报价 热销HMDS涂胶工艺 HMDS涂布机采购 真萍科技

 一、产品概述:

  HMDS 预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

一、主要技术指标:

  1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理,内胆为医用专用不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。


  2. 箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。


  3. 微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。


  4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC??榭晒┯没Ц莶煌瞥烫跫谋涑绦?,温度,真空度及每一程序时间。


  5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。


  6 HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。


  7. 低液报警装置,采用国际领先的红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能)


  8. 温度与PLC联动?;すδ埽ǖ盤LC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报)


  9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316医用专用不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)

二、整机尺寸、真空腔体尺寸:


  1. 内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;


  2. 载物托架:2块


  3. 室温+10℃-250℃   控温范围:温度分辨率:0.1℃   温度波动度:±0.5℃


  4. 真空:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,


  5. 加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)


  6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。


  7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为 常规降温)。


真萍科技是专业的从事热处理设备、烘烤制程设备、环境与可靠性试验设备、半导体黄光区专用设备,储存专业设备等产品专业供应商,由一批多年从事热工、真空,结构、半导体等行业的专业工程技术人员为核心,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。


公司官网:www.ahzpkj.com  www.tphte.com 

全国服务热线:400-608-2908

传真:***

地址:合肥市经济技术开发区宿松路与清华路启迪科技城创客空间A栋1007室


0条 [查看全部]  相关评论
 

[ 供应搜索 ]  [ ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 关闭窗口 ]

江苏时时彩app下载 |展会流程 |广告位介绍 |版权隐私 |使用协议 |联系方式 |关于我们 |网站地图 | 网站留言 | 江苏时时彩app下载

客服:010-67615892/67616938 传真:010-67615806
 仪器仪表世界网版权所有 公司地址:北京市大兴区盛坊路2号,北京仪器仪表工业基地,京仪科技加速器楼2层202
(c)2008-2014 仪器仪表世界网 All Rights Reserved 技术支持:北京网站建设 安全联盟alexa排名 京 公网安备:110105014593

 
  • [网连中国]赛龙舟 包粽子 办诗会……全国各地品民俗迎端午 2019-02-21
  • 玩雪可以来这里 这个小村让你过足冰雪瘾 2019-02-21
  • 马克思主义,不会改变人类历史发展的进程和规律,它只是揭示了这个不可更改的客观规律。人类社会发展的进程,只决定于工人阶级的觉悟。现在是工人阶级丧失了革命觉悟的时期 2019-02-20
  • 最后一句有点看不懂。 2019-02-20
  • 鹿心社:弘扬井冈山精神 打赢脱贫攻坚战 2019-02-19
  • 尼斯湖里有啥?新西兰学者欲探测“水怪DNA”揭秘 2019-02-19
  • 南宁地铁2号线今日正式开通试运营 2019-02-18
  • 全国取得专利代理人资格人数达3.7万 2019-02-18
  • 更聪明、更可靠、更低价 广汽传祺全新GS4上市 2019-02-17
  • 机关党建工作巡礼——广东“走前头作表率” 2019-02-16
  • China focus Landmark two sessions set course for new era 2019-02-16
  • 手绘长卷:习近平2018年两会全纪录 2019-02-15
  • 王陆进任国家税务总局副局长(图简历) 2019-02-14
  • 机构投资者应合理审慎报价 2019-02-14
  • 《变形金刚2》角色图 2019-02-13
  • 556| 426| 643| 542| 390| 574| 413| 512| 151| 302|